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在醫(yī)療領域應(yīng)用的等離子體滅菌(jūn)技術於20世(shì)紀80年(nián)代始(shǐ)於美(měi)國，Menashi等首先提(tí)出鹵素類(lèi)氣(qì)體等(děng)離子體(tǐ)具(jù)有(yǒu)很(hěn)強的殺(shā)菌作用，可用於(yú)非(fēi)耐熱醫療(liáo)器械的快速(sù)滅菌，低溫等(děng)離(lí)子(zǐ)體(tǐ)滅菌(jūn)技術(shù)1987年獲(huò)得。
美國強生公司(sī)研製的(dí)Starrad 100S*等(děng)離子體滅(miè)菌器，於(yú)1997年經(jīng)FDA批準上市(shì)。現(xiàn)已在(zài)歐(ōu)美，日(rì)本(běn)等(děng)發達(dá)國(guó)家醫療機構微(wēi)創手(shǒu)術中廣泛(fàn)使(shǐ)用。
2004年(nián)開始在我國推(tuī)廣宣(xuān)傳(chuán)，已有(yǒu)幾(jī)十家(jiā)大(dà)型(xíng)醫療(liáo)單位開(kāi)始使用(yòng)。由此(cǐ)也使(shǐ)得等(děng)離子(zǐ)體低溫(wēn)滅菌技術在(zài)我國醫療領域的使(shǐ)用(yòng)得到廣(guǎng)泛(fàn)的認(rèn)同(tóng)。